6H-SiC衬底上AlGaN基垂直结构紫外LED的制备

• 作者: 刘明哲 张宝林 张源涛 李鹏翀 邓高强
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: AlGaN 紫外发光二极管 分布式布拉格反射镜 金属有机物化学气相沉积 垂直结构
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 753-759
• 页数: 7页
• 分类号: TN383|TH691.9
• 字数: 2511字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20173806.0753

摘要

利用金属有机物化学气相沉积方法,在n型6H-SiC衬底上制备了15对Si掺杂Al0.19Ga0.81N/Al0.37Ga0.63N DBR,并采用低温AlN缓冲层有效抑制了DBR结构中裂纹的产生,得到了表面均方根粗糙度仅为0.4 nm且导电性能良好的n型DBR,其在369 nm处峰值反射率为68%,阻带宽度为10 nm.在获得导电DBR的基础上,进一步在n型6H-SiC衬底上构建了有、无DBR的垂直结构紫外LED.对比两者电致发光光谱,发现DBR结构的引入有效增强了LED紫外发光强度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张宝林	吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室	14	31	3.0	5.0
2	张源涛	吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室	13	21	3.0	4.0
3	刘明哲	吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室	2	10	2.0	2.0
4	李鹏翀	吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室	2	9	2.0	2.0
5	邓高强	吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室	1	3	1.0	1.0