基于LCP衬底的柔性湿度传感器研究

• 作者: 王立峰 章丹 黄见秋
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性 湿度传感器 LCP 电容式传感器
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1478-1482
• 页数: 5页
• 分类号: TN409
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.10.004

摘要

介绍了一种新型柔性电容式湿度传感器.该柔性电容式湿度传感器采用液晶高分子聚合物(LCP)作为衬底,金属铜(Cu)作为叉指电极,聚酰亚胺(PI)作为湿度传感器的湿敏介质.LCP衬底的应用使得该传感器具有良好的柔性和可弯曲性.该柔性湿度传感器与传统硅基湿度传感器相比较具有成本低廉、结构简单、制作方便等优点.该柔性湿度传感器在25℃下的平均灵敏度为0.04%pF/%RH,最大回滞为±4.16%RH,其平均灵敏度在25℃~70℃范围内受温度影响较小.在25℃下其响应时间和恢复时间分别为36 s和39 s.该柔性湿度传感器可以应用于环境湿度检测、人工电子皮肤系统和可穿戴设备等领域.