后处理工艺对钛基纳米金刚石涂层场发射特性的影响

• 作者: 吴小帅 张富春 李小敏 杨延宁 杨浩浩
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米金刚石涂层 后处理工艺 场发射特性 发光效果
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 747-752
• 页数: 6页
• 分类号: TN383+.1
• 字数: 2822字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20173806.0747

摘要

采用胶带粘贴、金相砂纸摩擦、射频氢等离子体工艺对钛基纳米金刚石涂层进行了处理,分析了它们对样品的微观表征、场发射性能、发光效果的影响.首先通过电泳法将金刚石粉末移植到金属钛片上,然后经过真空热处理、表面后处理工艺形成了场发射阴极涂层,最后对样品进行了微观表征、场发射特性与发光测试.结果表明,胶带处理在场强达到10 V/μm时,场发射电流密度从50 μA/cm2增j加到72 μA/cm2;金相砂纸处理在10 V/μm场强下的场发射电流由48 μA/cm2提高到82 μA/cm2;适当的氢等离子体处理有助于降低表面功函数,使得金刚石表面的悬键被氢原子饱和,在其表面形成C-H键,进一步降低了电子亲和势,从而提高了样品的场发射性能和发光均匀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨延宁	延安大学信息与通信工程研究所	139	336	9.0	14.0
2	张富春	延安大学信息与通信工程研究所	94	391	10.0	17.0
3	吴小帅	延安大学信息与通信工程研究所	5	6	1.0	2.0
4	李小敏	延安大学信息与通信工程研究所	11	14	2.0	3.0
5	杨浩浩	延安大学信息与通信工程研究所	3	1	1.0	1.0