具有使用原子层沉积形成的集成计算元件的流体分析系统

• 来源期刊: 国外测井技术
• 学科: 工学
• 关键词: 原子层沉积 流体分析 INTEGRATED INTEGRATED COMPONENTS SERVICES ELEMENT SYSTEMS
• 年，卷（期）: gwcjjs_2017,（5）
• 页码范围: 75-75
• 页数: 1页
• 分类号: TP332

摘要

专利名称：FLUID ANALYSIS SYSTEM WITH INTEGRATED COMPUTATION ELEMENT FORMED USING ATOMIC LAYER DEPOSITION 专利号：US2015369043（A1） 申请号：US201314766960 申请日：2013.02.11 公开（公告）日：2015.12.24 申请（专利权）人：HALLIBURTON ENERGY SERVICES,INC. Fluid analysis systems with Integrated Computation Elements（ICEs）or other optical path components