混合软质磨粒固着磨具抛光蓝宝石的探索研究

• 作者: 周向阳 彭超飞 曹霖霖 杭伟 王洁 袁巨龙
• 来源期刊: 中国陶瓷
• 学科: 工学
• 关键词: 混合软质磨粒 固着磨具 蓝宝石 化学热力学
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 生产与应用
• 页码范围: 45-50
• 页数: 6页
• 分类号: TQ174.6+27
• 语种: 中文
• DOI: 10.16521/j.cnki.issn.1001-9642.2017.07.009

摘要

研制了一种蓝宝石抛光用固着磨具,以硬度低于蓝宝石的铈基稀土和氧化镁为磨粒,基于化学热力学,藉由HSCChemistry软件,进行混合磨粒在湿式环境下,与蓝宝石发生反应的吉布斯自由能计算和平衡成分分析.结果表明,各成分间有生成固溶体、水合物和化合物的趋势.发生反应后,再由磨粒的机械摩擦作用去除表面生成物,即可实现抛光.压强为0.02 MPa,主轴转速100 r/min时,1h后,蓝宝石晶片中间和边缘的平均粗糙度,分别改善了Ra71 nm和Ra90nm.加工实验证明该混合软质磨粒固着磨具是一种很有潜力的蓝宝石表面质量改善工具.