高k栅介质SOI应变硅肖特基源漏MOSFET漏致势垒降低效应研究

• 作者: 张鹤鸣 杨晋勇 许立军
• 来源期刊: 四川大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: MOSFET 漏致势垒降低 应变硅 高k栅介质 SOI 肖特基
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 电子信息科学
• 页码范围: 753-758
• 页数: 6页
• 分类号: TN432.1
• 字数: 3554字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0490-6756.2017.04.015

摘要

高k栅介质SOI应变硅肖特基源漏MOSFET结合了应变硅工程、高k栅介质、SOI结构和肖特基源漏四者的优点,是一种实现小尺寸MOSFET的潜力器件.通过求解二维泊松方程建立了该结构的阈值电压模型,模型中考虑了镜像力势垒和小尺寸量子化效应对源漏极的电子本征肖特基势垒高度的影响,在阈值电压模型基础上获得了漏致势垒降低模型.从文献中提取漏致势垒降低的实验数据与模型进行对比,验证了其正确性,随后在此基础上讨论分析了漏致势垒降低和各项参数的变化关系.结果表明,漏致势垒降低随应变硅层厚度的变厚、沟道掺杂浓度的提高和锗组分的增大而增大,随沟道长度的变长、栅介质介电常数的增大、电子本征肖特基势垒高度的提高和漏源电压的增大而减小.适当调节模型参数,该结构可很好的抑制漏致势垒降低效应,对高k栅介质SOI应变硅肖特基源漏MOSFET器件以及电路设计具有一定的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹤鸣	西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件重点实验室	102	510	12.0	16.0
2	杨晋勇		10	23	3.0	3.0
3	许立军	西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件重点实验室	3	10	1.0	3.0