基体偏压对ZrN涂层微观结构及力学性能的影响

• 作者: 张世宏 张林 毛绍宝
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZrN涂层 多弧离子镀 偏压 微观结构 力学性能
• 年，卷（期）: 2017,（9）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 916-922
• 页数: 7页
• 分类号: TG174.4
• 字数: 3723字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.09.13

摘要

利用多弧离子镀技术通过改变基体偏压(-100,-150,-200 V)在SKD11模具钢基体上制备了一系列ZrN涂层.采用X射线衍射、扫描电镜、纳米压痕仪、划痕仪、摩擦磨损试验机和台阶仪等分析技术对涂层的结构、表面形貌、硬度、弹性模量、断裂韧性、结合力、摩擦磨损性能等进行表征,重点研究基体偏压对涂层微观结构和力学性能的影响.结果表明,在不同偏压条件下制备的涂层始终由ZrN相构成;随着基体偏压的升高,ZrN涂层生长的择优取向发生了改变,生长择优取向从低偏压下(-100V)的(311)向(111)(-200 V)转变;硬度和结合力呈现先增后减的趋势,并在偏压为-150 V时达到最大值,分别为29.14 GPa和58 N:摩擦系数及磨损量均在偏压为-150 V时最低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张林	安徽工业大学现代表界面工程研究中心	11	12	2.0	2.0
2	张世宏	安徽工业大学材料科学与工程学院	31	139	7.0	11.0
6	毛绍宝	安徽工业大学材料科学与工程学院	2	2	1.0	1.0