篇名 | Investigation on interracial and electrical properties of Ge MOS capacitor with different NH3-plasma treatment procedure | ||
来源期刊 | 半导体学报(英文版) | 学科 | |
关键词 | |||
年,卷(期) | 2017,(8) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 38-43 | |
页数 | 6页 | 分类号 | |
字数 | 语种 | 英文 | |
DOI | 10.1088/1674-4926/38/8/084004 |