激光沉积大面积均匀类金刚石膜的设计改进及实验

• 作者: 丁方正 米朝伟 郭延龙 陆益敏 陈霞 韦尚方 黄国俊
• 来源期刊: 兵工学报
• 学科: 工学
• 关键词: 机械制造工艺与设备 光学薄膜 脉冲激光沉积 类金刚石膜 大面积均匀薄膜
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 页码范围: 555-560
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.2
• 字数: 4077字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.2017.03.019

摘要

针对激光等离子体的边缘粒子对激光沉积类金刚石膜性能的不利影响,改进自转衬底一维变速平移技术的大面积均匀镀膜机构.利用开孔的挡板滤除等离子体边缘的粒子,同时在原有膜厚分布数学模型中加入相应的模块;通过优化模型中的机构运动参数,指导实验获得了直径200 mm的大面积均匀类金刚石膜.测试结果表明:该类金刚石膜的不均匀性为±4.5％,且膜厚分布特征与理论优化结果相同,同时纳米硬度和红外透过率较改进前显著提高;相对于改进前的大面积均匀镀膜技术,改进后的机构具有更实际的应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭延龙	武汉军械士官学校光电技术研究所	31	246	8.0	15.0
2	丁方正	武汉军械士官学校光电技术研究所	12	38	4.0	5.0
3	韦尚方	武汉军械士官学校光电技术研究所	17	76	5.0	8.0
4	陆益敏	武汉军械士官学校光电技术研究所	16	36	4.0	5.0
5	黄国俊	武汉军械士官学校光电技术研究所	11	31	4.0	5.0
6	陈霞	武汉军械士官学校光电技术研究所	5	7	2.0	2.0
7	米朝伟	武汉军械士官学校光电技术研究所	14	41	4.0	5.0