润滑油膜厚度的光学相干层析成像测量

• 作者: 秦玉伟
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学相干层析成像 润滑油膜 厚度测量 谱域 解耦
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1142-1148
• 页数: 7页
• 分类号: TP274.5|TH117.2
• 字数: 3077字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172505.1142

摘要

为了对滑动轴承的润滑油膜厚度进行精确测量,搭建了光纤结构的谱域光学相干层析成像(OCT)检测系统.该检测系统通过谱域OCT对油膜进行高分辨率成像,根据一维深度图像和二维层析图像中油膜和轴承表面的相对位置得到油膜厚度.分析了SD-OCT的检测原理,并对油膜厚度进行了测量,通过干涉光谱解耦法减小噪声对测量结果的影响.实验结果表明,该系统的测量误差小于2 μm,具有良好的重复性和可靠性.该测量方法能够对油膜进行快速准确测量,有望应用于机械设备轴承运行状况的在线监测.