射频空心阴极放电中电子加热机制的实验研究

• 作者: 何锋 司新路 欧阳吉庭 王春晓
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 射频放电 空心阴极放电 电子加热 EEPF
• 年，卷（期）: 2017,（9）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 897-901
• 页数: 5页
• 分类号: O532
• 字数: 2744字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.09.10

摘要

在氩气环境下对射频驱动下空心阴极的放电特性进行了实验研究,得到了不同工作条件下射频空心阴极放电中的电子密度、电子能量几率分布函数等结果.研究结果表明,相比于平板电极容性耦合射频放电,空心结构电极的射频放电能获得更高的电子密度.在形成空心阴极效应后,等离子体密度随电压、气压的升高而增大.通过EEPF进一步分析了射频空心阴极放电电子加热机制随pD值、工作电压的变化.发现当pD增加时,射频空心阴极放电中电子加热机制从以振荡鞘层对高能电子的随机加热为主逐渐转变为对等离子体中电子的欧姆加热为主;当逐渐提升电压时,电子本身获得能量机制则由开始的欧姆加热转到了向后来的随机加热.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	欧阳吉庭	北京理工大学物理学院	31	155	7.0	11.0
2	何锋	北京理工大学物理学院	13	37	4.0	5.0
3	王春晓	北京理工大学物理学院	3	9	2.0	3.0
4	司新路	北京理工大学物理学院	1	2	1.0	1.0