高反射率硅基薄膜一维光子晶体的研究制备

• 作者: 于莉媛 侯国付 张建军 牛萍娟 陈培专
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 一维光子晶体 硅基薄膜 高反射
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 发光学应用及交叉前沿
• 页码范围: 1403-1408
• 页数: 6页
• 分类号: O472+.3
• 字数: 3854字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20173810.1403

摘要

采用射频等离子体增强化学气相沉积的方法,研究制备了一种基于硅基薄膜的高反射一维光子晶体.通过交替改变反应气体组分实现低折射率SiOx层和高折射率a-Si层的交替层叠沉积,具有两种膜层介质折射率比大、反射率高、沉积时间短、工艺窗口宽等优点.采用5周期的SiOx层与a-Si层构成的一维光子晶体(厚度分别为155 nm和55 nm),其禁带范围内(650~1100 nm)的平均反射率达到99.1%,高于相同波长范围内Ag的平均反射率(96.3%).