新型移相量块干涉仪的研制

• 作者: 刘香斌 吴月艳 张旭东 王世婕 王振华
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 量块测量 移相干涉仪 相位解包裹 小数重合法
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 页码范围: 257-261
• 页数: 5页
• 分类号: TB921
• 字数: 2969字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2017.03.01

摘要

研制了一台用于0.5 ～100 mm量块测量的新型移相量块干涉仪,分别以波长为633 nm和543 nm的两台稳频激光器作为测量光源,通过一根单模光纤引入到干涉仪内.高精密移相器实现5步移相干涉测量,CCD.相机采集干涉条纹并计算干涉条纹小数,被测量块长度采用多波长的小数重合法计算.移相量块干涉仪的测量不确定度达到U=0.015 μm +0.07 × 10-6L(L为量块长度,mm).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张旭东		29	80	4.0	7.0
2	刘香斌		26	63	5.0	5.0
3	吴月艳		21	43	4.0	4.0
4	王世婕		3	7	2.0	2.0
5	王振华		1	4	1.0	1.0