衍射光栅槽形隆起的数学建模及演变规律

• 作者: 史国权 田在祺 石广丰 郭云霞
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射光栅 隆起 塑流剖面 滑移线场 滞留区
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 108-111
• 页数: 4页
• 分类号: TG506.9|TH741|TN249
• 字数: 2432字
• 语种: 中文

摘要

以79g/mm的中阶梯衍射光栅为目标,研究衍射光栅机械刻划过程中铝膜的槽形隆起机制.首先,经过4次坐标变换,建立了光栅槽形的塑流剖面.然后,基于Lee and Shaffer提出的滑移线场模型,在塑流剖面内建立起包含滞留区域的滑移现场模型,并根据Dewhurst and Collins提出的矩阵算法对滑移线场进行求解,最终得到槽形隆起尺寸模型.最后,通过DEFORM软件对槽形隆起尺寸的演变规律进行模拟分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石广丰		69	202	6.0	11.0
2	史国权		88	340	9.0	15.0
4	田在祺		2	3	1.0	1.0
7	郭云霞		3	5	2.0	2.0