基于二维光学相干层析的多层薄膜结构无损定量评价

• 作者: 伏喜斌 张秋坤 林杰文 童俊海 钟舜聪 陈丹阳
• 来源期刊: 机电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉条纹 光学相干层析 多层薄膜结构 厚度测量
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 机械、仪表技术
• 页码范围: 847-850
• 页数: 4页
• 分类号: TH74
• 字数: 2289字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4551.2017.08.006

摘要

为了实现对多层薄膜结构厚度进行快速准确的测量和无损定量评价,研制了二维光学相干层析(Optical Coherence Tomo-graphy,OCT)系统,避免了传统一维OCT系统逐点扫描导致成像效率低下的问题.阐述了去除OCT共轭镜像理论,采用了五步相移干涉法,具体由压电驱动器驱动参考镜实现,做到了对OCT共轭镜像的去除,避免出现OCT图像的混叠.所研制的OCT系统具有极高的系统分辨率和较好的信噪比,可以实现对手机钢化玻璃薄膜内部四层结构厚度(钢化玻璃、静电胶层1、防爆贴膜和静电胶层2)进行准确测量.实验结果表明:自研制的系统可快速高精度地对多层薄膜结构厚度进行测量,可以推荐使用在多层薄膜的无损定量评价中.