基于ELVIS的薄层电阻测试系统设计

• 作者: 刘宝栋 刘新福 吴鹏飞 莎桐桐
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: ELVIS LabVIEW 微区薄层电阻 改进范德堡法
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 研制开发
• 页码范围: 26-27,40
• 页数: 3页
• 分类号: TN3
• 语种: 中文
• DOI: 10.11876/mimt201705011

摘要

在分析薄层电阻测试方法及原理基础上,利用NI LabVIEW软件及NI ELVIS硬件完成改进的范德堡法的测试系统设计.硬件电路的数据采集由NI ELVIS完成,软件部分以数据处理模块为核心,经数据分析后进行显示,并可实现数据存储与读取.最后,通过样品测试验证了设计方法的合理性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘新福	河北工业大学机械学院	39	354	9.0	17.0
2	吴鹏飞	河北工业大学机械学院	5	9	2.0	3.0
3	刘宝栋	河北工业大学校园建设与管理处	4	5	2.0	2.0
4	莎桐桐	河北工业大学机械学院	1	0	0.0	0.0