Terahertz detector for imaging in 180-nm standard CMOS process

• 作者: Jian LIU[1,2] Liyuan LIU[1,2] Nanjian WU[1,2] Zhao ZHANG[1,2] Zhaoyang LIU[1,2]
• 来源期刊: 中国科学
• 学科: 工学
• 关键词: CMOS探测器 cmos工艺 太赫兹 NMOS晶体管 成像 标准 CMOS工艺 贴片天线
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 页码范围: 198-206
• 页数: 9页
• 分类号: TN386
• 语种: 中文