高温高压退火对碳化硅性能的影响

• 作者: 左桂鸿 王丽娟 王方标 郑友进 黄海亮
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化硅 高温高压 退火
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 页码范围: 2073-2076
• 页数: 4页
• 分类号: TM924.03
• 字数: 2027字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2017.10.038

摘要

以CVD生产的碳化硅为原料在高温高压下进行退火处理,探究退火温度对碳化硅性能的影响.实验结果表明:随着退火温度的增加,碳化硅的颜色由浅绿色变为无色;体积有明显的缩小、密度增加;退火后碳化硅的抗压强度显著增强,机械强度有所增加;退火后的SiC结构并没有发生变化,15R-SiC在798.6 cm-1处拉曼峰强度减少,4H-SiC在970 cm-1拉曼峰强度有所增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑友进	牡丹江师范学院黑龙江省新型碳基功能与超硬材料重点实验室	54	81	4.0	7.0
2	黄海亮	牡丹江师范学院黑龙江省新型碳基功能与超硬材料重点实验室	18	26	3.0	4.0
3	王方标	牡丹江师范学院黑龙江省新型碳基功能与超硬材料重点实验室	10	7	2.0	2.0
4	王丽娟	牡丹江师范学院黑龙江省新型碳基功能与超硬材料重点实验室	4	7	2.0	2.0
5	左桂鸿	牡丹江师范学院黑龙江省新型碳基功能与超硬材料重点实验室	23	50	4.0	6.0