基于电子束剪切干涉的PIE成像技术研究

• 作者: 何小亮 刘诚 孔艳 朱健强 李元杰 王绶玙
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: M?llenstedt双棱镜 相干衍射成像 相位恢复 电子束干涉
• 年，卷（期）: 2017,（13）
• 所属期刊栏目: 电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学
• 页码范围: 90-99
• 页数: 10页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.66.134202

摘要

提出了基于M?llenstedt电子双棱镜的电压扫描剪切干涉全场ptychographic iterative engine(PIE)显微成像技术.从低到高逐步改变电子双棱镜的电压,并同时记录所形成的剪切干涉条纹,待测样品透射电子束的强度和相位分布就可以用PIE算法得以快速重建,而且双棱镜的方向、位置和实际电场强度分布等诸多实验中不可避免地偏差都可以在迭代过程中自动得以更正.所提技术能够克服现阶段用电子束进行PIE成像的诸多技术困扰,从而有望推动PIE技术在电子显微成像领域的发展和应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孔艳	江南大学理学院光电信息科学与工程系	30	67	5.0	7.0
2	朱健强	中国科学院上海光学精密机械研究所	147	1132	17.0	31.0
3	刘诚	江南大学理学院光电信息科学与工程系	31	296	8.0	17.0
5	王绶玙	江南大学理学院光电信息科学与工程系	7	3	1.0	1.0
8	李元杰	江南大学理学院光电信息科学与工程系	1	1	1.0	1.0
9	何小亮	中国科学院上海光学精密机械研究所	2	2	1.0	1.0