多物理场耦合研究电感线圈电镀铜

• 作者: 冀林仙 苏世栋
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 印制电路 电感线圈 电镀铜 多物理场耦合 象形阳极 有限元分析
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 46-52
• 页数: 7页
• 分类号: O441.4
• 字数: 3760字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2017.10.008

摘要

采用多物理场耦合方法构建了电感线圈电镀铜模型,通过有限元分析获得了电感线圈电镀铜过程中铜离子浓度分布、线圈表面电流密度与镀层分布状况,探讨了象形阳极与阴阳极距离对镀层厚度分布的影响.数值模拟结果表明,采用象形阳极与绝缘挡板有助于提高线圈表面镀层的均匀性.当阴阳极距离较小时,采用象形阳极电镀铜,镀层极差降低为0.21μm,COV减小为0.5%.随着阴阳极距离的增加,镀层极差增大到9.5%,需要增加绝缘挡板来提高镀层均匀性.此时,镀层极差为0.14μm,标准偏差COV值为0.4%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏世栋	运城学院物理与电子工程系	17	84	5.0	9.0
2	冀林仙	运城学院物理与电子工程系	9	33	3.0	5.0