飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的研究

• 作者: 伍晓宇 杜晨林 梁德志 王敏
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超快光学 微通道 激光诱导背部湿刻 石英玻璃
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 174-177
• 页数: 4页
• 分类号: TN249
• 字数: 3391字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.02.005

摘要

为了获得飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的最佳参量,通过分别改变飞秒激光的功率、刻蚀速率和显微物镜的放大倍数进行了实验.采用超景深显微镜对加工样品进行观察和测量,并分析了微通道的形貌.结果表明,在飞秒激光功率为50mW、刻蚀速率为0.010mm/s、20×显微物镜聚焦的实验条件下,可以制备出深度为1466μm、深宽比为32的石英玻璃微通道.此研究对3维结构维纳制造技术有一定的应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	伍晓宇	深圳大学机电与控制工程学院	71	389	11.0	15.0
2	杜晨林	深圳大学光电工程学院	29	231	10.0	14.0
3	王敏	深圳大学机电与控制工程学院	13	106	6.0	10.0
4	梁德志	深圳大学光电工程学院	2	3	1.0	1.0