退火对大厚度TiAlN涂层力学性能影响的研究

• 作者: 周晟昊 曾德长 赵升升
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 真空退火 大厚度涂层 TiAlN 力学性能 残余应力
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 182-187
• 分类号: TG174.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.02.11

摘要

对不同温度真空退火的大厚度TiAlN涂层(厚度为65.3μm)的硬度、结合强度、残余应力、摩擦磨损等力学性能进行了系统的研究,以揭示真空退火工艺对大厚度涂层力学性能的影响规律.结果表明,随着退火温度增加,涂层应力得到释放,600℃退火后全膜厚平均应力降至-0.154 GPa,应力沿层深分布更加均匀,涂层硬度逐渐下降,但仍保持较高硬度值,膜基结合强度增强,磨损率略有上升.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾德长	华南理工大学材料科学与工程学院	127	548	11.0	17.0
3	赵升升	深圳职业技术学院深圳现代设计与制造技术重点实验室	15	22	3.0	4.0
4	周晟昊	华南理工大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0