化学气相沉积法于镓酸锂基板生长氧化锌薄膜的研究

• 作者: 付永胜 李雪莲
• 来源期刊: 无机盐工业
• 关键词: 氧化锌薄膜 镓酸锂 化学气相沉积 结晶品质 生长参数
• 年，卷（期）: 2017,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 9-14
• 页数: 6页
• 分类号: TQ132.41|TB383
• 语种: 中文

摘要

研究了利用化学气相沉积法在镓酸锂(001)基板上生长氧化锌薄膜,探讨了生长温度、生长压力、生长时间对薄膜结构与特性的影响,以期寻找出生长高品质氧化锌(0002)薄膜的最佳条件.研究结果表明,在氧气与氮气流量比为600/400、生长压力为6.67 kPa、生长温度为550℃、生长时间为60 min条件下,于镓酸锂(001)基板上能够生长出高质量的氧化锌(0002)薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李雪莲	常州工程职业技术学院化工学院	25	23	3.0	3.0