基于正交误差对准的MEMS陀螺测控电路设计

• 作者: 来强涛 郭桂良 郭江飞 陈华 韩荆宇
• 来源期刊: 湖南大学学报（自然科学版）
• 关键词: 相干检测 正交误差 读出系统 陀螺 MEMS传感器
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 电气与信息工程
• 页码范围: 109-116
• 页数: 8页
• 分类号: TN911.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.16339/j.cnki.hdxbzkb.2017.10.015

摘要

传统MEMS (Micro-Electro-Mechanical System)陀螺的相干检测基于驱动位移和科氏位移的相位关系,依赖于陀螺的工作模式,解调载波相位抖动大,不易相位对准.为解决此问题,本文提出了一种基于正交误差对准的不依赖陀螺工作模式的相干解调系统.解调载波取自驱动电路的PLL(Phase-Locked Loop)输出,相位抖动小,仅作载波使用,不代表驱动位移信息.检测通路插入移相器,使正交误差相位滞后解调载波90°,则科氏位移信号与解调载波同相,完成检测.为验证该方法,本文研究了陀螺器件与接口电路之间的信号传递特性并进行建模,设计了锁相环、C/V(Capacitance/Voltage)转换、移相器等核心电路,实现了一款完整的MEMS陀螺测控电路.测试结果表明:陀螺驱动正常,检测正确,刻度因数为1.415 mV/(°.s),零偏不稳定度为108°/h.结果验证了该检测方法的有效性,并为后续进一步提升性能提供了基础.该检测方法也适用于其他振动式MEMS陀螺的测控系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈华	中国科学院微电子研究所	65	683	13.0	24.0
5	郭桂良	中国科学院微电子研究所	37	106	6.0	7.0
6	来强涛	中国科学院微电子研究所	9	27	4.0	4.0
7	韩荆宇	中国科学院微电子研究所	3	7	2.0	2.0
8	郭江飞	中国科学院微电子研究所	4	8	2.0	2.0