高温电加热碳化硅合成过程的数值模拟

• 作者: 刘永 张晴 李阳 王旭阳 陈杰
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化硅 数值模拟 温度场 速度场
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 其他
• 页码范围: 238-244
• 分类号: TQ173
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.02.20

摘要

建立电加热碳化硅合成炉的三维模型,利用FLUENT软件对合成炉内气体流动、传热、化学反应过程进行数值模拟,并分析了配合料孔隙率对碳化硅成品的影响.研究表明随着合成时间的延长,炉内热量呈辐射状向外扩散,气体呈现三维多向流动特性,反应进行到24h时CO气体流量达到最大,随着反应配合料孔隙率的增加合成时间随之缩短,但由于升温过快使得热源周围部位碳化硅分解加剧且炉内压力明显增加.生产时可在炉底加入少许木屑增加透气性以降低炉内压力,同时控制配合料孔隙率在28％～33％之间从而保证成品质量的同时可以防止由于升温过快压力过高所造成的喷炉事故.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈杰	西安科技大学材料学院	48	183	7.0	9.0
2	李阳		11	18	3.0	3.0
3	王旭阳	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	6	12	3.0	3.0
4	刘永	西安科技大学材料学院	6	17	3.0	4.0
5	张晴	西安科技大学材料学院	7	11	2.0	3.0