直流磁控溅射技术低温制备高电导和高透明的氢掺杂AZO薄膜

• 作者: 刘智 卢景霄 徐晴 谷锦华
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: AZO薄膜 氢掺杂 直流磁控溅射 电阻率
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 161-164
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.02.08

摘要

采用直流磁控溅射的方法制备掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜,通过溅射过程中加入氢气的方法来降低AZO薄膜的电阻率.结果表明:通过加入氢气的方法能有效降低AZO薄膜的电阻率;在衬底温度为225℃的低温条件下,通过优化其它沉积参数,制备了电阻率最低为4.5 ×l0-4Ω·cm、可见光区平均透光率在90％的优质AZO薄膜.这说明在溅射过程中引入一定流量的氢气,H可以起到掺杂作用,提高AZO薄膜的电导率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谷锦华	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	25	103	6.0	8.0
2	卢景霄	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	100	570	12.0	17.0
3	刘智	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	4	6	2.0	2.0
4	徐晴	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	1	3	1.0	1.0