光化学感应法制备Pb(Zr0.52Ti0.48)O3陶瓷微阵列

• 作者: 岳建设 李祯 王梦梦
• 来源期刊: 江苏陶瓷
• 关键词: PZT 铁电性 微加工图
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 学术研究
• 页码范围: 15-16,18
• 页数: 3页
• 字数: 1042字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7337.2017.05.006

摘要

Pb (Zr0.52Ti0.48) O3 (PZT)铁电陶瓷具有高的剩余极化强度,是性能良好的记忆存贮材料.为了制备存贮单元,本研究采用溶胶-凝胶法配合紫外光感技术制备PZT陶瓷膜,在溶液中添加紫外吸收剂,提拉形成凝胶膜,通过掩膜板遮蔽紫外光,实现紫外光对薄膜选择性的加工,制备PZT存贮阵列.通过紫外光辐照时间的探索,确定了最佳的辐照时间,使用光感法制备的PZT阵列分布均匀,膜层没有缺陷,经过500℃热处理后,薄膜致密且厚度均一,PZT表现出良好的铁电性能,剩余极化强度为16μC/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	岳建设	咸阳师范学院化学与化工学院	23	20	3.0	3.0
2	李祯	咸阳师范学院化学与化工学院	17	9	2.0	3.0
3	王梦梦	咸阳师范学院化学与化工学院	1	0	0.0	0.0