热原子层沉积技术制备的TiAlC薄膜的性能

• 作者: 张泓筠 李娜 杨永亮
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 物理学
• 关键词: TiAlC薄膜 热原子层沉积 透射率 红移 光学带隙
• 年，卷（期）: 2017,（9）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 3373字
• 语种: 中文

摘要

为了解以热原子层沉积技术制备的TiAlC薄膜的特性,在不同基底温度下,以硅和二氧化硅为基底材料制备了TiAlC薄膜;采用椭偏仪、分光光度计、X射线光电子能谱、原子力显微镜、X射线衍射仪对薄膜的性能进行了测试.结果表明:随着基底温度的升高,TiAlC薄膜平均透射率逐渐降低,吸收边产生红移,光学带隙由2.56eV降低到0.61 eV;薄膜的沉积速率由0.09 nm/cycle升高到0.20 nm/cycle,表面粗糙度由1.82 nm降低到0.49 nm;不同基底温度下生长的薄膜均为无定型结构;膜层中的氧源于空气的自然氧化,且膜层的氧化程度与膜层中TiC的含量及膜层的致密性有关;TiAlC薄膜的形成主要源于高温条件下TiC的形成及三甲基铝的分解.