二维经验模态分解在工程表面形貌误差评定中的应用

• 作者: 任志英 张世忠 林有希 罗德海 高诚辉
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 二维经验模态分解 三维表面形貌 误差评定 终止准则 Riesz变换
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 425-432
• 页数: 8页
• 分类号: TH161.14
• 字数: 3283字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172402.0425

摘要

针对目前表面微观形貌面形误差分离方法中存在边界畸变及自适应差等缺点,提出了将具有自适应时频分辨能力的二维经验模态分解算法(bidimensional empirical mode decomposition,BEMD)应用于三维工程表面面型误差分离中,同时用Riesz变换构造单演信号,计算信号整体的频率特征,完成对二维经验模态分解算法的终止准则的改进,使其能严格按照ISO4287所规定的截止波长分离三维表面各频段形貌误差.仿真结果表明,本文新方法相比于国标ISO中高斯滤波以及常用小波滤波,在分离三维工程粗糙表面各面型误差时,所得分离图形效果远优于传统方法所得,且各频段误差对应的三维评定参数误差均小于5％.最后对光学镀膜元件实例进行分析,结果表明该算法能够很好地分离各形貌误差的的空间信息,所得参数评定基准面相对传统方法不存在边界畸变等问题,因此该方法在实际工程表面评定应用中具有可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林有希	福州大学机械工程及自动化学院	138	811	14.0	21.0
2	高诚辉	福州大学机械工程及自动化学院	183	1730	20.0	33.0
3	任志英	福州大学机械工程及自动化学院	52	106	6.0	8.0
4	罗德海	福州大学机械工程及自动化学院	2	9	1.0	2.0
5	张世忠		1	9	1.0	1.0