大面积纳米压印揭开式脱模机理和规律

• 作者: 兰红波 李延强
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 大面积纳米压印 揭开式脱模 脱模力 脱模速度
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 材料工程
• 页码范围: 470-477
• 页数: 8页
• 分类号: TN305
• 字数: 4872字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2017.04.016

摘要

针对大面积纳米压印脱模工艺,开展了揭开式脱模机理和规律的研究.基于界面黏附能理论,建立了气体辅助揭开式脱模力预估模型;基于应变能法和脱模过程中能量守恒定律,建立了气体辅助揭开式脱模临界脱模速度模型.利用ABAQUS工程数值模拟软件,分析得到纳米压印工艺参数(脱模力、脱模角度、脱模速度)对揭开式脱模的影响规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	兰红波	青岛理工大学纳米制造与纳光电子实验室	15	49	4.0	6.0
2	李延强	青岛理工大学纳米制造与纳光电子实验室	2	3	1.0	1.0