铀上激光辅助化学气相沉积镍薄膜研究

• 作者: 刘柯钊 宾韧 张永彬 蒲朕 郎定木 陈志磊
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 激光 化学气相沉积 防腐蚀 镍薄膜
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 化学
• 页码范围: 411-417
• 页数: 7页
• 分类号: TG179
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/yzk.2017.51.03.0411

摘要

为防止金属铀的腐蚀,本文采用激光辅助化学气相沉积(LACVD)方法在铀上制备了镍薄膜.采用SEM、XRD分析了薄膜的形貌、物相以及界面特性,采用黏胶拉伸测试表征了膜-基结合性能,采用电化学极化法分析了薄膜的抗腐蚀性能.结果表明:压力和温度对化学气相沉积(CVD)方法制备镍薄膜的质量有较大的影响.随着基底温度和沉积气压的降低,薄膜变得致密、平整,质量提高.在优化的工艺条件165℃ 、3 Pa下,CVD方法所得镍薄膜非常致密.采用LACVD方法时,激光能量为200 mJ时所制得的薄膜致密,300 mJ时膜变得粗糙.无激光辅助时,CVD方法所制得的薄膜较易剥落,激光辅助下所得薄膜的膜-基结合力较好.LACVD方法大幅提高了薄膜的抗腐蚀性能,抗腐蚀性能的提高主要源于激光辅助使薄膜致密化,提高了薄膜与基底的结合力.