用于飞秒激光纳米加工的TiO2粒子阵列诱导多种基底表面近场增强

• 作者: 季博宇 宋晓伟 林景全 焦悦 陶海岩
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 飞秒激光 超衍射极限加工 近场光学 TiO2 粒子
• 年，卷（期）: 2017,（14）
• 所属期刊栏目: 电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学
• 页码范围: 363-373
• 页数: 11页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.66.144203

摘要

利用纳米粒子辅助对飞秒激光能量进行空间局域化,使其在基底表面诱导产生纳米尺度的近场增强,这对超衍射极限微结构加工具有重要意义.目前对于粒子阵列诱导飞秒激光纳米孔加工的研究仅限于金属Au粒子及低折射率聚苯乙烯介电粒子等,本文提出并开展了应用高折射率TiO2介电粒子阵列作为辅助诱导激光近场增强从而进行飞秒激光超衍射纳米孔加工的研究.对TiO2介电粒子阵列在Si,Pt及SiO2表面的近场强度分布进行了数值模拟,研究其基底表面近场增强的规律及物理过程.研究结果发现,使用硅基底时,阵列与单一TiO2球形粒子相比其近场增强仅下降约30%;相对于入射激光强度而言,在直径约为100 nm的空间范围内获得140倍的近场增强,这一现象可用于百纳米孔的激光加工.同时在其他典型基底的理论计算结果中也表明,几乎在所有金属及介电材料表面均可以实现良好的百纳米空间范围内的近场增强,并且具有近场随着基底折射率变大而增强的规律.这些现象的产生归因于TiO2粒子中磁四极振荡产生的激光前向场增强及粒子与基底的耦合作用.进一步引入镜像电荷模型对基底光学参数对其表面近场增强的影响规律进行了分析和解释.本文的模拟结果对飞秒激光近场超衍射极限纳米加工的应用有着重要的意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林景全	长春理工大学理学院	47	295	8.0	16.0
2	季博宇	长春理工大学理学院	5	3	1.0	1.0
3	宋晓伟	长春理工大学理学院	11	59	3.0	7.0
4	焦悦	长春理工大学理学院	2	3	1.0	1.0
5	陶海岩	长春理工大学理学院	9	23	4.0	4.0