封装内气体对电热驱动MEMS性能影响的有限元分析

• 作者: 全本庆 李长安 杨宇翔 杨明冬 江毅
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 器件封装 热驱动MEMS 气体含量 有限元分析
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1167-1170
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 1823字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.08.006

摘要

研究了封装内的气体对电热驱动型MEMS的性能的影响.采用有限元分析方法,得出了封装内充入不同组分的氮气和氦气混合气体时MEMS的温度场和驱动位移.分析结果表明,随着封装内混合气体中氦气含量的增加,混合气体的导热系数增加,MEMS机械臂上的温差减小,驱动位移减小.为了提高MEMS性能和保持产品的批量一致性,封装内作为检漏用的氦气的含量在检漏工艺允许范围内越少越好,并且保持含量稳定不变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李长安		6	13	2.0	3.0
2	全本庆		10	13	2.0	3.0
3	江毅		11	22	2.0	4.0
4	杨明冬		10	12	2.0	3.0
5	杨宇翔		1	1	1.0	1.0