低温泵在超高真空炉中的应用实例

• 作者: 卢少波 张吉峰 王承章
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 低温泵 超高真空 真空炉 实例
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 141-145
• 分类号: TF138
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.02.05

摘要

十多年前开始在真空电子技术相关工艺设备中应用低温泵、干泵无油系统来获得超高真空,效果满意.这次尝试将低温泵快速、洁净和可靠的独特优势应用到真空炉中.将低温泵并入真空系统中,达到清洁的超高真空环境.本文以实例介绍了低温泵在超高真空炉中的应用;重点介绍了低温泵真空系统的设计思路,真空系统的主要配置和注意事项,低温泵的选型计算,并用图示方法详细介绍了低温泵系统的安装、使用和维护等环节.对同类真空炉的研发和低温泵的应用都有参考价值.通过严格把关各研发环节,按照超高真空规范进行清洗,除气和烘烤,最后真空炉的极限压力达到了2×10-7 Pa,将常规的真空炉极限压力延伸了近一个数量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张吉峰		13	4	1.0	1.0
2	王承章		5	3	1.0	1.0
3	卢少波		4	3	1.0	1.0