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摘要:
通过对影响聚焦离子束溅射氮化硅纳米孔的溅射时间和离子束束流2个主要参数的研究,优化了聚焦离子束溅射纳米孔加工工艺.提出了利用聚焦离子束对氮化硅薄膜进行减薄后再溅射纳米孔的加工工艺.采用该加工工艺不仅可以减小纳米孔的直径和厚度,还可以减小纳米孔的锥度.最后利用氮化硅纳米孔研究了不同孔径的纳米孔对48 kb λ-DNA过孔姿态的影响,结果表明,孔径较大时,DNA分子过孔存在多种过孔姿态,孔径越小,DNA分子越容易被拉直过孔.同时针对DNA过孔时引起的阻塞电流,提出了简易的计算模型.
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文献信息
篇名 基于氮化硅薄膜纳米孔制备及DNA分子检测
来源期刊 东南大学学报(自然科学版) 学科 工学
关键词 氮化硅 纳米孔 聚焦离子束 DNA
年,卷(期) 2017,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 265-270
页数 6页 分类号 TH789
字数 3720字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1001-0505.2017.02.012
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王欣 东南大学微纳生物医疗器械设计与制造实验室 25 279 9.0 16.0
2 纪安平 东南大学微纳生物医疗器械设计与制造实验室 7 2 1.0 1.0
6 沙菁(契) 东南大学微纳生物医疗器械设计与制造实验室 3 2 1.0 1.0
7 马建 东南大学微纳生物医疗器械设计与制造实验室 3 6 2.0 2.0
8 李堃 东南大学微纳生物医疗器械设计与制造实验室 1 2 1.0 1.0
9 杨浩杰 东南大学微纳生物医疗器械设计与制造实验室 1 2 1.0 1.0
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研究主题发展历程
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氮化硅
纳米孔
聚焦离子束
DNA
研究起点
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研究分支
研究去脉
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相关学者/机构
期刊影响力
东南大学学报(自然科学版)
双月刊
1001-0505
32-1178/N
大16开
南京四牌楼2号
28-15
1955
chi
出版文献量(篇)
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12
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