基于平面线圈线阵的直线时栅位移传感器

• 作者: 彭东林 武亮 汤其富 陈锡侯 鲁进
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 直线位移传感器 齿槽 平面线圈 时栅位移传感器 误差分析
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 83-90
• 页数: 8页
• 分类号: TH7
• 字数: 3797字
• 语种: 中文

摘要

针对现有磁场式直线时栅位移传感器行波磁场产生过程中,齿槽的存在影响行波磁场的匀速性,提出基于平面线圈线阵的直线时栅位移传感器.无齿槽的结构形式提高了行波磁场的匀速性,可实现大极距下的高精度测量.传感器将施加正交信号的两相励磁线圈相间排列形成平面线圈线阵,产生的行波磁场通过磁场拾取线圈感应出电行波信号,处理后得到位移量.通过电磁场分析软件对传感器进行建模仿真,根据仿真结果得到测量误差;通过理论分析对测量误差进行分析溯源,并根据分析结果对传感器结构进行优化.基于分析和优化结果研制出传感器样机,并进行了精度实验.实验表明,传感器在240 mm内测量精度为±1μm,实现了精密测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭东林	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	86	653	14.0	17.0
2	陈锡侯	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	54	435	13.0	17.0
3	汤其富	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	24	130	6.0	10.0
4	武亮	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	34	215	9.0	13.0
5	鲁进	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	17	115	7.0	10.0