晶面取向对同质外延单晶金刚石生长的影响

• 作者: 丁康俊 宋修曦 耿鹏 陈建丽 马志斌
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 同质外延 单晶金刚石 晶面取向 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 201-205
• 分类号: TQ163
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.02.14

摘要

利用微波等离子体化学气相沉积法,在天然金刚石的(100)、(110)以及(111)晶面上进行了同质外延生长单晶金刚石的研究,分析了这三个晶面上同质外延生长的特点.结果表明,不同的晶面上金刚石的生长速率和形貌显著不同.(110)晶面生长速率最快,表面由一系列大小不同的四面体组成,(100)晶面次之,呈现出排列规整的生长台阶,而(111)晶面生长速率最低,表面光滑平整,(100)和(111)的这种二维生长表面粗糙度明显小于(110)的一维生长表面,而这些特点与其生长模式密切相关.虽然在(111)晶面生长出了质量理想、表面平整的单晶金刚石,但是与(100)和(110)晶面外延生长的单晶金刚石相比,其质量还是较低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马志斌	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	58	189	7.0	10.0
2	丁康俊	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	4	11	2.0	3.0
3	宋修曦	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	4	11	2.0	3.0
4	陈建丽	中国电子科技集团公司第四十六研究所	5	8	1.0	2.0
5	耿鹏	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	1	6	1.0	1.0