光学硬脆材料固结磨料研磨中的亚表面损伤预测

• 作者: 凌顺志 朱永伟 李信路 王占奎
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学硬脆材料 固结磨料研磨 离散元法 亚表面损伤
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 367-374
• 页数: 8页
• 分类号: TH703
• 字数: 3292字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172402.0367

摘要

研磨过程中亚表面损伤层深度的正确预测是研磨工艺参数制定的重要依据.针对固结磨料的研磨特点,选择两种典型光学硬脆材料(镁铝尖晶石和石英玻璃),采用离散元仿真技术,分别建立了两种材料的二维离散元模型,分析了工艺参数对光学硬脆材料亚表面损伤(裂纹)层深度的影响.而后,采用角度抛光法测量了镁铝尖晶石和石英玻璃的亚表面损伤层深度,进行了实验验证.结果表明:采用固结磨料研磨时,磨粒粒径对光学硬脆材料亚表面损伤的影响相当显著,在相同研磨工艺条件下,随着磨粒粒径的增大,亚表面损伤层深度和微裂纹密集程度明显增加.离散元仿真结果与实验结果的对比表明:采用离散元技术可以对光学硬脆材料的亚表面损伤深度进行快速有效的预测,从而为后续的研磨抛光工艺提供参考与指导.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱永伟	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	128	1288	19.0	26.0
2	王占奎	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	6	44	4.0	6.0
3	李信路	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	3	26	3.0	3.0
4	凌顺志	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	4	41	3.0	4.0