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摘要:
半导体行业作为一个高能耗产业,对水、电的消耗十分巨大,单是在纯水制造过程中就需要消耗大量的水和电.因此,探讨如何在纯水制造过程中节水节电的工作势在必行.本文简要介绍了两种不同工艺纯水制造的流程与效果,并结合实际案例,对两种纯水处理工艺进行了能耗对比.并在此基础上对其中一种工艺系统进行了节能改造,取得较为显著的节能效果.
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半导体行业超纯水制造技术
半导体
超纯水
节能减排
反渗透技术在大型电子超纯水项目中的应用
反渗透
自来水
电子超纯水
超纯水系统EDI装置化学清洗及灭菌方法
电去离子技术(EDI)
化学清洗
灭菌
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 某工厂超纯水处理技术能耗分析案例
来源期刊 节能与环保 学科
关键词 纯水制造 阴阳床 反渗透 能耗
年,卷(期) 2017,(4) 所属期刊栏目 科技
研究方向 页码范围 64-65
页数 2页 分类号
字数 1567字 语种 中文
DOI
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作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 刘洁 1 4 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
纯水制造
阴阳床
反渗透
能耗
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
节能与环保
月刊
1009-539X
11-4454/TK
大16开
北京市朝阳区安外小关东里甲2号
82-435
1983
chi
出版文献量(篇)
6685
总下载数(次)
14
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