关于LED用蓝宝石图形化衬底探讨

• 作者: 斯芳虎
• 来源期刊: 电子质量
• 学科: 工学
• 关键词: LED发光二极管 外延层 衬底 曝光 干法蚀刻 湿法蚀刻 显影
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 测评与应用
• 页码范围: 37-40
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2549字
• 语种: 中文

摘要

该文主要介绍了LED用蓝宝石图形化衬底的基础知识.图形化衬底可分为湿法蚀刻(WPSS)和干法蚀刻(DPSS)两种,其基本的制作原理.两种图形化衬底的主要特性参数探讨,以及量测和评价方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	斯芳虎		1	0	0.0	0.0