超精密光学镜片三维表面形貌参数评定方法研究

• 作者: 任志英 吴乙万 林建兴 江伟 高诚辉
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 光学镜片 三维表面形貌 参数评定 ISO25178-2 传递函数
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 页码范围: 410-415
• 页数: 6页
• 分类号: TB96
• 字数: 4408字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2017.04.06

摘要

分析了当前超精密光学镜片表面评定方法及其存在的不足,提出引用ISO 25178-2中规范的部分表面3D参数来表征精密光学镜片三维表面,找出光学镜片表面形貌与对应的光学性能存在的关系,并实现ISO对超精密光学镜片三维表面的评定.仿真实验表明:当光学镜片表面的高度服从高斯分布时,其评价光学系统性能的传递函数随着均方值的减小而增大.用实例说明ISO的部分三维参数对光学镜片三维表面可以很好地区分,利用新的综合评价方法评定光学镜片表面形貌具有一定的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高诚辉	福州大学机械工程及自动化学院	183	1730	20.0	33.0
2	任志英	福州大学机械工程及自动化学院	52	106	6.0	8.0
3	林建兴	福州大学机械工程及自动化学院	5	25	3.0	5.0
4	吴乙万	福州大学机械工程及自动化学院	10	11	3.0	3.0
5	江伟		4	4	1.0	2.0