基于双金属膜的光纤MEMS温度传感器的设计

• 作者: 叶荣波 姚虹春 彭波 葛益娴
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤传感器 法布里-珀罗干涉 台面膜 双金属膜
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 661-664
• 页数: 4页
• 分类号: TN212.11
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2017.05.008

摘要

提出了一种新型结构的温度传感器,该传感器基于Fabry-Perot干涉和双金属效应.采用MEMS技术制作出线性度好、精度高的光纤MEMS温度传感器.阐述了传感器的工作原理,研究了传感器的力学模型,确定了温度敏感膜材料,用有限元软件ANSYS验证了模型的合理性.模拟了法珀腔的腔长对温度传感器性能的影响,为传感器的加工制作提供了理论依据.该设计可为以硅为基底的压力传感器提供一种温度补偿方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	葛益娴	南京信息工程大学电子与信息工程学院	19	133	5.0	11.0
2	叶荣波		3	8	1.0	2.0
3	彭波	南京信息工程大学电子与信息工程学院	2	6	1.0	2.0
4	姚虹春		2	7	1.0	2.0