微纳加工中高精度环境温度控制系统的设计

• 作者: 姚龙隆 杨海马 涂建坤 陈成 陈晓荣
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳加工 高精度 增量式PID
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 计算机与控制系统
• 页码范围: 72-75
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 字数: 2434字
• 语种: 中文

摘要

统计表明,在微纳加工领域中,由于热变形引起的误差占总误差的40％ ～ 70％,已经成为制约微纳加工发展的主要因素之一.本系统采用基于PLC的增量式数字PID控制方法,实现对微纳加工控制过程中环境温度的高精度控制.利用LabVIEW软件编程灵活的特点,设计控制系统界面,通过RS485接口实现计算机对PLC的实时监控,保存测量数据,实时进行精度分析.经长时稳定试验,本系统可以实现±0.05℃/24 h的控制精度(24 h内温度波动不超过±0.05℃),满足高精度加工系统的温度控制需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	涂建坤		29	42	4.0	5.0
2	杨海马	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	96	365	10.0	15.0
3	陈晓荣	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	28	174	6.0	12.0
4	陈成	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	6	20	3.0	4.0
5	姚龙隆	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	2	6	2.0	2.0