西门子反应器中硅棒热电行为数值模拟与分析

• 作者: 侯彦青 周扬民 李亚广 聂陟枫 谢刚
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 趋肤效应 热传导 电流密度
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 页码范围: 1971-1977
• 页数: 7页
• 分类号: TQ018
• 字数: 4624字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2017.10.018

摘要

改良西门子法制备多晶硅过程中,化学气相沉积所需能量全部由电流加热硅棒提供.本文考虑多晶硅还原炉中辐射和对流热量传递形式,耦合频率控制的焦耳电加热方程,建立了12对棒多晶硅还原炉热场-电磁场耦合模型,并通过工业数据验证了其模拟结果的合理性.分析了硅棒半径、交流电频率以及反应器壁发射率对西门子还原炉内、外硅棒内部温度及电流密度分布的影响.结果表明:当硅棒半径增长到所用交流电频率引起的趋肤深度时,交流电趋肤效应开始显著影响硅棒内部温度梯度;交流电频率的增大,硅棒内部温度梯度逐渐减小;反应器壁发射率增加,低频时硅棒内部温差增大,而高频时发射率对硅棒内部温度分布影响不再显著.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢刚	昆明理工大学冶金与能源工程学院	223	1635	21.0	30.0
5	周扬民	昆明理工大学复杂有色金属资源清洁利用国家重点实验室	7	30	4.0	5.0
11	侯彦青		35	159	6.0	11.0
15	聂陟枫	昆明理工大学复杂有色金属资源清洁利用国家重点实验室	4	14	3.0	3.0
16	李亚广	昆明理工大学复杂有色金属资源清洁利用国家重点实验室	2	5	1.0	2.0