酸腐蚀优化YIG薄膜表面及磁性能研究

• 作者: 冯奇 徐建定 郑梁 郑辉 郑鹏 陈娟景
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 铁氧体薄膜 铁磁共振 酸腐蚀 粗糙度 磁控溅射 钇铁石榴石
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 60-63
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 3040字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2017.08.010

摘要

主要针对射频磁控溅射法所制备的钇铁石榴石铁氧体薄膜,利用盐酸溶液对其表面进行腐蚀处理,探究腐蚀时间对薄膜表面微观结构及磁性能的影响.研究发现随着腐蚀时间的延长,薄膜表面粗糙度先减小后增大,并在腐蚀5 min时得到最小的算术平均粗糙度3nm及最小的轮廓最大高度0.045 μm.同时扫描电子显微镜表征出薄膜表面形貌在腐蚀时间5 min时趋于光滑均匀.最后铁磁共振谱反映出在腐蚀时间5min时共振峰个数最少,铁磁共振线宽也有所降低.通过酸腐蚀处理技术,薄膜表面形貌及磁性能均得到改善,使其更适用于微波器件中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑梁		35	114	5.0	9.0
2	冯奇		1	0	0.0	0.0
3	郑辉		2	0	0.0	0.0
4	郑鹏		15	85	3.0	9.0
5	徐建定		1	0	0.0	0.0
6	陈娟景		1	0	0.0	0.0