等离子体增强电弧离子镀1Cr17Ni2不锈钢表面氮化/DLC涂层复合改性研究

• 作者: 刘一奇 卢国英 李晓勇 林国强 石昌仑 韩克昌
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 1Cr17Ni2不锈钢 电弧离子镀 等离子体增强 氮化/DLC涂层复合改性
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 100-105
• 分类号: TG156
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.01.18

摘要

在等离子体增强电弧离子镀设备中,用热丝增强放电的辉光等离子体对1 Cr17 Ni2马氏体不锈钢进行表面氮化处理.对氮化层的表面形貌、成分、相结构及性能进行了测试及分析.结果表明,氮化处理后不锈钢的表面硬度从3.67 GPa最高提升到9.25 GPa,并且在50μm深的范围内保持7.32 GPa以上的硬度,改性层内有CrN和Fe2N新相生成是硬化的主要原因,不过与基体相比,摩擦系数仅从1.1略微降低到0.9.在氮化预处理的基础上,再一体化用碳靶阴极弧等离子体对1Cr17Ni2钢进行氮化/DLC涂层复合改性处理,对表面DLC涂层改性层的品质及性能进行了测试与分析.结果表明,复合改性处理后,因表面得到1.5 μm厚的高品质的DLC涂层,及氮化预处理使得表面硬度有梯度提升,使1Cr17 Ni2钢的整体表面硬度进一步提高到17.06 GPa,且摩擦系数显著降低到0.08.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林国强	大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室	59	562	13.0	21.0
2	韩克昌	大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室	3	5	1.0	2.0
3	刘一奇	大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室	1	1	1.0	1.0
4	石昌仑		1	1	1.0	1.0
5	卢国英		1	1	1.0	1.0
6	李晓勇		1	1	1.0	1.0