基于标准CMOS工艺的UV/blue光电探测器

• 作者: 乔静 廖建文 朱长举 毛陆虹 董威锋 谢生
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光电器件 响应度 弱光探测 紫外/蓝光 CMOS工艺 动态范围 选择性
• 年，卷（期）: 2017,（9）
• 所属期刊栏目: 光学器件
• 页码范围: 32-37
• 页数: 6页
• 分类号: TN364.1|TN386.6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20174609.0923001

摘要

基于UMC 0.18μm CMOS工艺,提出一种适合紫外/蓝光探测的探测器,该器件由栅体互联的NMOS晶体管和横向/纵向光电二极管构成.其中,浅结的光电二极管由UMC工艺中Twell层(浅P阱)和Nwell层形成,以增强其对紫外/蓝光的吸收,栅体互联的NMOS晶体管可以放大光电流,提高探测器的灵敏度和动态范围.仿真结果表明,本文设计的紫外/蓝光探测器具有低的工作电压和暗电流,对300～550 nm波长范围的光具有高的响应度和宽的动态范围.在弱光条件下(光强小于1μW/cm2),响应度优于105 A/W,随着光强增大,响应度逐渐降低,但总体仍超过103 A/W.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛陆虹	天津大学电气自动化与信息工程学院	165	736	12.0	20.0
2	谢生	天津大学微电子学院天津市成像与感知徽电子技术重点实验室	68	232	7.0	11.0
3	乔静	天津大学微电子学院天津市成像与感知徽电子技术重点实验室	2	5	1.0	2.0
4	董威锋	天津大学微电子学院天津市成像与感知徽电子技术重点实验室	3	5	1.0	2.0
5	廖建文	天津大学电气自动化与信息工程学院	1	4	1.0	1.0
6	朱长举	天津大学电气自动化与信息工程学院	1	4	1.0	1.0