Al2O3膜层制备参数对SiO2/Al2O3/PET复合膜透湿性能的影响

• 作者: 丁泽良 周枫林 张诗淼 林长生 王双雄
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 SiO2/Al2O3/PET 包装膜 透湿性
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 页码范围: 1946-1950,1954
• 页数: 6页
• 分类号: TB43|TG115.3
• 字数: 2253字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2017.10.013

摘要

采用磁控溅射工艺在PET衬底上依次沉积了Al2 O3和SiO2薄膜,制备出SiO2/Al2 O3/PET复合膜.利用扫描电镜和透湿仪对复合膜的表面形貌和透湿性能进行表征.研究了制备Al2 O3膜层的射频功率、氩气流量、本底真空度和溅射时间4个参数对复合膜透湿率的影响.结果表明:复合膜的透湿率随着本底真空度的升高而减小,随着射频功率、氩气流量和溅射时间的增加均呈现先减小后增大的变化趋势;4个制备参数对复合膜透湿率的影响程度由大到小依次是本底真空度、氩气流量、射频功率、溅射时间;4个制备参数的较优组合为本地真空度0.5×10-3 Pa,射频功率300 W,溅射时间6 min,氩气流量70 mL·min-1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁泽良	湖南工业大学机械工程学院	24	92	6.0	8.0
2	周枫林	湖南工业大学机械工程学院	17	38	3.0	5.0
3	林长生	湖南工业大学机械工程学院	3	14	2.0	3.0
4	张诗淼	湖南工业大学机械工程学院	3	3	1.0	1.0
5	王双雄	湖南工业大学机械工程学院	4	3	1.0	1.0