微型热导检测器温控模块研究

• 作者: 俞正寅 冯飞 刘明 戈肖鸿 李昕欣 游文斌
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微型气相色谱仪 热导检测器 噪声 PID算法
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 11-13,17
• 页数: 4页
• 分类号: TN609
• 字数: 2129字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2017)02-0011-03

摘要

作为微型气相色谱仪(Micro GC)的关键部件的微型热导检测器(Micro TCD),其噪声主要来自于温度波动和气流抖动等因素.从理论上分析了Micro TCD噪声的主要来源,使用COMSOL仿真得到了温度波动对系统噪声的影响,并详述了Micro TCD加热模块的电路部分和算法部分.测试表明:Micro TCD的温度波动约为0.09℃,达到了商用GC控温精度的标准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘明	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	207	1983	20.0	38.0
2	李昕欣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	52	280	11.0	13.0
3	冯飞	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	15	52	5.0	6.0
4	戈肖鸿	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	6	24	3.0	4.0
5	俞正寅	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	3	5	2.0	2.0
6	游文斌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	1	3	1.0	1.0