考虑温度影响的高灵敏度微压力传感器

• 作者: 乔晶 梁吴燕 段亚丽 谷云斌 陈德媛
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 物理学
• 关键词: 光子晶体 压力传感器 温度 悬臂
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 806-809,867
• 页数: 5页
• 分类号: O472
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2017.06.008

摘要

提出了一种考虑温度影响的基于光子晶体的微压力传感器,传感器由微压力传感和温度传感两部分构成,其中微压力传感部分测量的是所处温度环境下的压力值.两部分传感器均利用波导和腔的耦合实现带阻滤波功能,根据带阻滤波器的模式在所处温度下线性红移,分别计算相应的温度值和该温度下的压力值,并通过热光效应和热膨胀效应计算出温度对器件材料折射率的影响,从而得到真实的微压力.文中对结构参数进行了优化设计,实现了1.33 nm/μN的微压力灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈德媛	南京邮电大学电子科学与工程学院	17	38	3.0	4.0
2	乔晶	南京邮电大学电子科学与工程学院	2	4	1.0	2.0
3	段亚丽	南京邮电大学电子科学与工程学院	1	4	1.0	1.0
4	梁吴燕	南京邮电大学电子科学与工程学院	2	7	2.0	2.0
5	谷云斌	南京邮电大学电子科学与工程学院	3	9	2.0	3.0